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无尘室的温湿度控制的具体措施有哪些?

发布时间:2021-10-28 15:29:34点击量:

       无尘室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求而定,在满足加工工艺要求的情况下,更要考虑到人的舒服。由于空气清洁度要求的提高,工艺过程对温度和湿度的要求越来越高,需要达到一定的温度和湿度等级。比如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,对作为掩膜材料的硅片和玻璃的热膨胀系数的要求差别越来越小。硅片直径100um,温度升高1度,造成0.24um线性膨胀,因此一定要有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般要低,因为人出汗后,产品会受到污染,尤其是半导体车间怕钠,这车间温度不宜超过25度。

       潮湿会引起更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却管壁会结露,如果准确设备或线路发生故障,会引起各种事故。相对湿度50%时容易发生锈蚀。无尘室的温湿度控制具体有哪些措施?

       但是,对大多数清洁空间来说,为了防止外界污染的侵入,必使内部压力(静压力)高于外部压力。维持压差应一般符合下列原则:

       1、在洁净度等级高的场所,压力比在邻近的洁净度等级低的场所高。

       2、两间相通的洁净室之间的门应向高洁净度房间敞开。

       3、洁净室的压力比非洁净室高。

       压差的维持依赖于新风量,新风量可以补偿在此压差下从空隙中漏出的风量。因此,压差的物理含义是阻力,即通过无尘室各种缝隙的漏风(或渗漏)。

       对乱流洁净室由于主要依靠空气的稀释作用减轻室内污染程度,因此主要采用换气次数概念,而不是直接采用流速概念,但对室内气流流速也有以下要求:

      1、送风口出口气流速度不能太大,与单纯的空调房相比,需要较快的速度衰减和较大的扩散角度。

      2、吹过水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不应过大,以免使表面颗粒重新进入到气流中,造成再污染,这种速度一般不应过大,0.2m/s。


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